重生08：从山寨机开始崛起 第392节

　　在半导体制造领域，徐申学的策略一直都是非常明确的：先解决有无问题，其他的什么专利啊，好不好用，商业化好不好搞都往后排。

　　先把东西给弄出来，然后再考虑其他问题。

　　而海湾科技就是这一策略下的产物，并且截止到目前来说，这一策略可以说相当成功。

　　靠着不折手段再加上科研系统的辅助，还有国内数十年的工业基础积累，众多研究所，企业，高校的配合。

　　然后还有徐申学疯狂砸下去的数以百亿美元计的投入。

　　最终，呈现在徐申学面前的，就是这些光刻机了以及其他几种核心设备了。

　　王道林这个时候，正在给徐申学介绍他们的光刻机产品：“徐董，目前我们公司的前道光刻机产品，已经覆盖了i-line光刻机，KRF光刻机，DUV干式光刻机，DUV浸润式光刻机一共四大类型，工艺制程可以覆盖10纳米到500纳米。”

　　“其中我们的i-line光刻机已经推进到第二代，相对比第一代大幅度提升了产能，提升了效率，降低了芯片的制造成本，该光刻机用于成熟的350-500纳米的芯片生产，具有成本低，效率高的特性，目前广泛供应国内各厂商以及部分海外厂商，这款光刻机和我们的KRF光刻机，目前是没有专利障碍的，所以也面向国外客户供应，利用我们的低成本优势也获得了一定的海外市场，不过整体技术上还是对比国外的产品有差距，因此销量一般。”

　　“KRF光刻机，同样也进行了改进，推出了升级型号，提升了效率，这款光刻机用于成熟的130-250纳米工艺，该款光刻机我们的智云微电子里以及其他国内厂商大量采用，使用反馈很不错，乃是我们的诸多光刻机产品里，客户反馈最好的一款，成本低，容易维护，生产效率好，所以这一款光刻机我们的出货量还是比较大的，每年出货超过四十台！”

　　“DUV干式光刻机，我们的初代型号是HDUV-100，后续我们又推出了改进型号HDUV-200以及300，最新的HDUV-300型号，今年刚实现量产并供货，进一步提升了套刻精度，为客户提供更加良好的65工艺节点的生产，整体效率也进一步提升，降低芯片生产成本。”

　　“这系列光刻机，出货量也比较大，预计今年我们能够出货大概五十台以上，主要供给智云微电子，中芯等厂商以及其他几家国内厂商，主要用于55-90纳米工艺节点。”

　　“DUV浸润式光刻机，是目前我们的核心产品，技术先进，售价也相对高昂，该系列光刻机也是目前我们公司的主要营收来源！”

　　前面几代的光刻机虽然也还有市场，不过这些老旧光刻机已经卖不出什么价了……毕竟落后芯片都卖不什么价格了，制造出这些落后芯片的落后光刻机，同样也卖不出什么价来。

　　当然，虽然价格低一些，但是依旧还有市场，并且市场还不小。

　　因为成熟光刻机，它除了可以直接生产成熟工艺的芯片外，也可以作为先进工艺芯片的辅助设备使用。

　　小知识，芯片的生产过程里，往往需要经过很多次的光刻机曝光，而其中的大部分曝光工序对光刻机的要求不会太高，因此可以由成熟落后的光刻机进行操作，以节省制造成本。

　　只有在核心曝光工序的时候，才会使用最先进的HDUV-500型或类似ASMLDUV浸润式光刻机。

　　后续如果采用了EUV光刻机，也是类似的情况，大部分对精度要求不高的曝光工序其实都是DUV光刻机进行的，只有最核心的工序部分才会由EUV光刻机来完成。

　　这也是为什么先进工厂，需要先进顶级光刻机的同时，也需要采购大量成熟光刻机的缘故……因为这些是搭配在一起使用的。

　　如果所有的曝光工序都由顶级光刻机来完成，那将会是极大的浪费，成本会迅速暴涨。

　　这是芯片生产过程里的成本控制问题！

　　总之但凡有可能，晶圆厂都会想尽办法使用落后成熟的光刻机来进行绝大部分工序，以节省成本。

　　这也是为什么看似落后的光刻机还能有不小市场的缘故。

　　只是，市场虽然还有，但是价格不高就是了。

　　真正价格昂贵的，还得是DUV浸润式光刻机！

　　海湾科技这边也不例外，卖的最贵的还是HDUV-400/500这两款光刻机。

　　尤其是后者可以玩两次曝光，套刻精度达到三点五纳米，其价格非常昂贵，如果加上各种配套服务，还有后续的技术支持等费用，一套下来得差不多四千万美元。

　　至于很多中小晶圆厂期待光刻机国产化后，变成白菜价，千把万美元就能拿下的就别做梦了……HDUV-500这种顶级工业产品，技术含量极高，加工难度极大，系统整合难度也大。

　　一套四千万美元，这已经算是很便宜了。

　　如果是隔壁的ASML，同级别的光刻机则是要五千多万美元一套。

　　而海湾科技的光刻机之所以价格便宜一些，也不是因为国产化后变良心。

　　纯粹是自家的光刻机多少还有点差，生产效率不如隔壁的ASML光刻机，因此为了打消客户的顾虑，把客户的芯片制造成本控制在一个可控范围内。

　　海湾科技在光刻机售价以及后续维护费用上都打了一些折扣，这样晶圆厂综合算下来后，使用海湾科技的光刻机才不会成本更高。

　　甚至还能拥有一些小优势，当然，这个优势并不明显了。

　　海湾科技的光刻机，是要玩商业化的，是要卖出去的，所以价格不能太贵。

　　但是海湾科技的生产制造成本，以及研发成本也非常高昂，因此也需要维持比较高的售价来维持营收以及利润。

　　一套四千万美元的HDUV-500光刻机，下半年已经开始小批量出货，供给智云微电子。

　　然后加上同样不便宜的HDUV-400光刻机。

　　这两种DUV浸润式光刻机，给海湾科技带来了不小的营收。

　　而价格昂贵的设备，也不仅仅是前道光刻机，还有后道光刻机，以及蚀刻机等其他诸多的核心设备，而这些半导体设备里，甭管哪一种，那都是动不动都是几百万美元甚至几千万美元一套的昂贵设备。

　　并且是工艺节点越先进，这价格就越贵，并且是翻倍甚至好几倍的价格差异。

　　晶圆厂的高昂投资成本，有相当一部分都是用来采购这些极其昂贵的，超级精密的设备了。

　　仙女山控股还会为有需求的晶圆厂，提供半导体设备设备打包服务，也就是客户一整座晶圆厂所需要的关键设备，我都给你打包提供，不仅仅是海湾科技的十多种核心设备，也包括仙女山控股体系下其他厂商以及国内部分厂商的配套设备。

　　都给你直接列好名单甚至搭配好。

　　客户只需要提供专业厂房以及支票，仙女山控股就能直接拉着一整套的设备过去，顺带帮你安装，调试，后面还提供驻厂的技术支持服务等。

　　但这种打包服务也非常贵，哪怕是成熟工艺了，但动不动也是数亿美元起步的。

　　如果是先进工艺，那更贵，基本几十亿美元以上！

　　主要是设备太贵，服务费倒是没几个钱！

　　而有技术的大型晶圆厂，则是不需要这种打包服务，他们会直接搭配生产线所需要的各种设备，然后自行采购并进行搭配，调试。

　　智云微电子投资建设的沪城半导体基地第26号厂，主打的就是10-22工艺节点，乃是智云微电子针对未来14纳米工艺节点的广泛市场，庞大需求而进行的产能扩充计划。

　　该厂预计采用HDUV-500光刻机作为核心设备，主打的是双重曝光工艺，可以生产10-22纳米的芯片。

　　该厂其大量的关键设备的供应就是由仙女山控股旗下各企业所供应，整体采购价达到了二十五亿美元，相当之夸张。

　　就这，还只是一部分设备，还有不少设备是仙女山控股这边无法提供，需要从国内其他厂家或海外厂家进口的，这部分大概也需要十亿美元左右。

　　全部设备投入，大概需要三十五亿美元左右，占据整个晶圆厂投入的百分之七十五，而整个晶圆厂的投资，大概需要五十亿美元左右。

　　而这个价格，还是建立在全面采用国产化设备，同时工厂土地成本很少，厂房建设成本也是采用国内的建筑公司，厂房材料等也尽可能使用国产材料降低成本。

　　如果还是按照之前那样，大部分设备都进口，考虑到近期设备涨价，通货膨胀等因素，那么这家工厂的投资成本至少得再增加十亿美元以上。

　　这年头的晶圆厂投入，是越来越昂贵了……因为现金设备成本越来越贵。

　　如先进光刻机这些东西，需求量小，产量低，意味着研发成本很难摊薄，同时制造成本也难以通过产量来拉低……最后搞的比战斗机这种军品溢价还要高。

　　海湾科技的DUV浸润式光刻机，预计一年产量才六十几台……比战斗机的产量都低！

　　就这么点产量，它就便宜不到哪里去。

　　其他的核心设备也大多存在类似的情况，产量低，成本无法摊薄，售价极其昂贵。

　　沪城基地第二十六号厂里，预计采用的上千万美元的设备除了光刻机，还有一大堆呢。

　　光刻机成本也只占据了晶圆厂成本的百分之二十五左右，还有百分之五十成本是其他设备构成的。

　　至于非设备成本，也就是厂房以及其他乱七八糟的成本全部加起来，只有百分之二十五……这个百分之二十五的比例是比较低的，台积电搞一家同级别的晶圆厂，非设备成本这些得占据百分之三十左右。

　　当然，一家晶圆厂里，成本最贵的还是光刻机，光这一种设备就占据百分之二十五的建厂成本。

　　王道林对自家的DUV浸润式光刻机也是相当自豪的：“我们的DUV浸润式光刻机，目前已经为国内六家客户供货，智云微电子已经接收了三十台这种光刻机，并成功应用于产线上。”

　　“我们的HDUV-500型光刻机，在套刻精度上，三点五纳米已经满足10-22纳米节点的双重曝光工艺需求，同时我们的双工台技术也有比较大的进步，进一步推高了生产效率！”

　　“而我们的HDUV-600型号光刻机，目前也已经完成了样机制造，我们正在进行后期的各种测试环节，量产型号有望在明年第四季度出货，以供应智云微电子使用。”

　　“这款HDUV-600型光刻机，套刻精度达到两点五纳米，完全可以用来进行四重曝光，满足智云微电子提出的等效七纳米工艺的生产需求！”

　　“目前我们在DUV光刻机领域的技术研发，主要也是集中在这款光刻机上！”

　　“除了眼前这些光刻机外，旁边的是我们的蚀刻机，离子注入机等核心设备，也都是我们研发人员联合国内众多厂家，科研所合作研发的成果，每一款设备，都是国内顶级工业技术的完美体现！”

　　说实话，这些设备如何完美体现国内的顶级工业技术，徐申学不知道……

　　徐申学对工业基础技术，其实了解的也不多，他前后两辈子都是文科出身，这辈子虽然从事高科技行业，日常也会接触一些高技术的东西，同时他自己现在还给自己挂着以个A级的科研名额涨脑子，有空，有需求的时候他也会了解，学习一些技术资料。

　　但是这种了解和学习依旧是极为有限的。

　　主要是海湾科技这边的东西过于先进，并且涉及到的领域方方面面，徐申学说真的，想要弄明白这些东西有点吃力。

　　但是徐申学也不需要弄明白详细的技术原理这些，他只需要知道这些设备可以用来生产先进的芯片就行了。

　　至于有什么技术很重要，需要重点关注之类的，王道林也会重点给他说一说！

　　这一圈看下来，至少看了十多种设备，无一例外都是半导体制造业里的核心设备。

　　其中的不少技术已经非常不错，比如后道光刻机技术就非常好，甚至都有些超前发展了……王道林说他们的HS350型后道光刻机，甚至都已经可以用来满足等效七纳米工艺的生产需求了，甚至都达到了国际领先水平，超过了竞争对手。

　　不仅仅自己使用，还提供给大量国外客户使用，四星甚至都有采购……而且这种先进后道光刻机，海湾科技卖的很贵的，价格比国外同类型竞品还高。

　　然后蚀刻机做的也比较好，基本上能够满足10-22纳米工艺的需求，其中的先进型号已经能够满足10工艺，也算是超前发展了，同样也供应国内外客户。

　　其他的多种核心设备，基本也能满足十四纳米工艺或二十八纳米工艺的需求。

　　”我们的目标，是争取在后年，把这十多种核心设备的技术指标，全部提升到满足等效10纳米工艺的程度。”

　　”然后在这个基础上，继续向7纳米工艺乃至未来的5纳米工艺所需要的技术指标推进！”

　　“对此，我们的信心还是很大的！”

　　徐申学心中则是暗道：“二十个S级科研名额，百十多个A级科研名额都投在了仙女山控股体系下，如果你们还没信心，我就要怀疑你们是不是有真材实料了。”

　　仙女山控股体系下的各企业，一向来是徐申学的科研名额的投入大户，每个月新增加的成就点所购买的S级以及A级别的科研名额，基本都是给仙女山控股体系这边用了。

　　智云集团那边除了智云微电子外，其他项目组，子公司都已经好久没有得到过A级以上的科研名额新增了，都是用原来的一些科研名额顶着，不过原来分配过去的高级别科研名额也不少，所以也够用了。

　　看完了诸多这些现成的核心设备，徐申学又了解了一番EUV光刻机的研发进度。

　　王道林介绍道：“目前我们正在汇同各大子系统供应链企业，对EUV的多种关键技术进行集中攻关！”